放射線検出装置、その製造方法、及び放射線検出システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山下穣平 , 志村博 , 永井道雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-233418
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052981
出願日： 2004年08月10日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：

【課題】放射線検出装置においてセンサーパネルの静電破壊による欠陥の発生をなくして、画像欠陥の無くい高品位な放射線検出装置を提供する。【解決手段】放射線検出装置は、2次元状に配置される光電変換素子部102およびその外周部に配置される電極取り出し部104を有するセンサーパネル100と、光電変換素子部102上に形成される感光性樹脂保護層から成る蛍光体下地層1、蛍光体層2、蛍光体層2上に設けけられた感光性樹脂保護層から成る蛍光体保護層3を有する。パッシベーション膜1を成す感光性樹脂保護層によって電極取り出し部104を保護して蛍光体層2を形成することによりセンサーパネル100の静電破壊の発生を防止する。また、蛍光体保護層3を感光性樹脂保護層で形成し、電極取り出し部104上の感光性樹脂保護層を加熱現像によって除去することにより、蛍光体保護層3の形成時の静電破壊の発生を防止する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に2次元状に配置された複数の光電変換素子からなる受光部と、少なくとも前記受光部上に設けられた保護層と、前記保護層の周囲の前記基板上に配置された電極取り出し部と、を有するセンサーパネルと、該センサーパネルの少なくとも前記受光部上に配置された、放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換する波長変換体と、を有する放射線検出装置であって、前記センサーパネルは、少なくとも前記電極取り出し部上に設けられた感光性樹脂を除去して形成された開口部を有することを特徴とする放射線検出装置。

IPC (5件)：

G01T 1/20 , G01T 1/202 , H04N 5/32 , H01L 31/09 , H01L 27/14

FI (8件)：

G01T1/20 L , G01T1/20 B , G01T1/20 E , G01T1/20 G , G01T1/202 , H04N5/32 , H01L31/00 A , H01L27/14 K

Fターム (40件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG16 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ10 , 2G088JJ30 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CB06 , 4M118CB11 , 4M118FB03 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118GA10 , 4M118HA26 , 4M118HA32 , 5C024AX11 , 5C024CY47 , 5C024GX09 , 5F088AB05 , 5F088BA18 , 5F088BA20 , 5F088BB07 , 5F088CB11 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088GA02 , 5F088HA09 , 5F088HA12 , 5F088HA15 , 5F088LA07 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (3件)

放射線イメージセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-173080 出願人：浜松ホトニクス株式会社
放射線検出器及び放射線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-328020 出願人：キヤノン株式会社
放射線検出素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-001506 出願人：浜松ホトニクス株式会社

前のページに戻る