分割型プローブカード

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-353969
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162238
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【目的】 1本のプローブでも容易に交換することができるようにする。【構成】先端の接触部111が測定対象物であるLSIチップ810の電極パッド811に接触するプローブ100と、プローブ100の基端の接続部121が接続される配線パターン230が形成された回路基板200と、回路基板200に取り付けられ、プローブ100を支持するプローブ支持部300とを備えており、プローブ100は、先端が接触部111となり、他端が接触側接点部112となった接触側プローブ110と、接触側プローブ110とは別体であり、基端が接続部121となり、他端が接続側接点部122となった接続側プローブ120とからなり、接触側プローブ110と接続側プローブ120とは、両接点部112、122で接触し、両接点部112、122は、回路基板200とプローブ支持部300との間に設けられたガイド部材330に貫通された貫通孔331の内部において接触するように構成されている。

請求項（抜粋）：

先端の接触部が測定対象物の電極パッドに接触するプローブと、このプローブの基端の接続部が接続される配線パターンが形成された回路基板と、この回路基板に取り付けられ、前記プローブを支持するプローブ支持部とを具備しており、前記プローブは、先端が前記接触部となり、他端が接触側接点部となった接触側プローブと、この接触側プローブとは別体であり、基端が前記接続部となり、他端が接続側接点部となった接続側プローブとからなり、前記接触側プローブと接続側プローブとは、両接点部で接触することを特徴とする分割型プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , G01R 1/06

FI (2件)：

G01R 1/073 D , G01R 1/06 A

Fターム (6件)：

2G011AA02 , 2G011AA16 , 2G011AB07 , 2G011AC05 , 2G011AC12 , 2G011AE03

引用特許：

審査官引用 (1件)

検査用ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-353897 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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