検査用ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185954
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】プローブが互いに接触することを防止するとともに、配線部へのプローブの接続作業およびヘッドの製作作業を容易にすることにある。【解決手段】検査用ヘッドは、複数の第1のプローブを支持する枠状の針押えと、複数の第2のプローブを支持する板状の支持体とを含む。針押えは、第1のプローブが基板の開口を形成する縁部に対応する部位に配置されたパッドに接触するように、基板に装着される。これに対し、支持体は、第2のプローブが一回で検査すべき複数の集積回路の境界部にあって集積回路の隣り合う辺に対応する部位に配置されたパッドに接触するように、厚さ方向を基板の開口の長手方向となる状態に基板に装着される。

請求項（抜粋）：

半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の電気的特性試験に用いる検査用ヘッドであって、長方形状の開口を中央に有する基板と、前記開口の縁部に沿って伸びる第1の針止め部を有しかつ前記基板に取り付けられた針押えと、前記開口の幅方向へ伸びる第2の針止め部を有する板状の1以上の支持体と、前記第1の針止め部に配置された複数の第1のプローブと、前記第2の針止め部に配置された複数の第2のプローブとを含み、前記支持体は、その厚さ方向を前記開口の長手方向とした状態に前記基板に取り付けられている、検査用ヘッド。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

プローブカード及び検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-349498 出願人：株式会社日本マイクロニクス
特開昭59-211910
特開平3-199975

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