ガラス状カーボン被膜を有するシリカガラス部材

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-262012
公開番号（公開出願番号）：特開平9-086964
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は、高い表面硬度、耐熱性及び耐プラズマ性を有するシリカガラス部材、特に半導体素子のプラズマエッチング処理等において発塵がない半導体素子製造用シリカガラス治具を提供することを目的とする。【構成】表面がガラス状カーボンで被覆されたことを特徴とするシリカガラス部材。

請求項（抜粋）：

表面がガラス状カーボンで被覆されたことを特徴とするシリカガラス部材。

IPC (4件)：

C03C 17/22 , C03C 15/00 , H01L 21/3065 , H01L 21/203

FI (4件)：

C03C 17/22 Z , C03C 15/00 E , H01L 21/203 S , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

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