特許

J-GLOBAL ID：200903022692261720

有孔板の製造方法及び製造装置

発明者： 十倉 史彦 ,  北嶋 雅之 ,  野田 豊 ,  村岡 良孝
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296568
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214422
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 有孔板の製造方法及び製造装置に関し、バリのない貫通孔を有し、メタルボール搭載用テンプレート等として使用可能な円孔板を提供することを目的とする。【解決手段】 無機材層を含む被加工板102を凹部76Bを有する支持台76に支持し、該被加工板に該凹部の位置においてレーザビームLBを照射して貫通孔26を形成することを特徴とする構成とする。

請求項（抜粋）：

無機材層を含む被加工板を凹部を有する支持台に支持し、該被加工板に該凹部の位置においてレーザビームを照射して貫通孔を形成することを特徴とする有孔板の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ,  H01L 21/60 311

FI (3件)：

H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/92 604 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-030390
  
• 半田ボールの吸着ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-144682   出願人：松下電器産業株式会社
• レーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-306996   出願人：キヤノン株式会社