走査型電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151192
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338282
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】試料の正へのチャージアップを防ぐとともに、2次電子が効率良く2次電子検出手段に引き寄せられるようにして、良好な観察像を得る。【構成】真空室1と、電子増倍作用のある気体が供給されると共に、試料7が収納される試料室2と、電子銃15からの電子線を試料7上に集束するコンデンサレンズ16及び対物レンズ5と、集束された電子線を試料7上で走査する電磁偏向器17と、試料7から発生した後に前記気体により電子増倍された2次電子を検出する圧力制限アパーチャ板3と、圧力制限アパーチャ板3と試料7との間の試料室2に配置され、前記気体の電子増倍作用により生じるイオンを収集するためのイオンコレクターとしてのグリッド電極19と、圧力制限アパーチャ板3とグリッド電極19との間の電界がグリッド電極19と試料7との間の電界よりも大きくなるような電圧を、グリッド電極19に印加する可変電圧源20とを備えている。

請求項（抜粋）：

電子線源から射出した電子線の通路を形成する真空室と、前記真空室に圧力制限開口を挟んで連結され、電子増倍作用のある気体が供給されると共に、試料が収納される試料室と、前記電子線源により発生した電子線を前記圧力制限開口を通して前記試料室に収納された試料上に集束する集束手段と、前記集束された電子線を前記試料上で走査する走査手段と、前記試料室に配置され、前記試料から発生した後に前記気体により電子増倍された2次電子を検出する2次電子検出手段と、を有する走査型電子顕微鏡において、前記2次電子検出手段と前記試料との間の前記試料室に配置され、前記気体の電子増倍作用により生じるイオンを収集するためのグリッド電極と、前記2次電子検出手段と前記グリッド電極との間の電界が前記グリッド電極と前記試料との間の電界よりも大きくなるような電圧を、前記グリッド電極に印加する電圧源とを備えていることを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-321879 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-192246
特開昭62-226552

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