特許

J-GLOBAL ID：200903022716358304

温度調節計、およびこれを用いた露光装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157016
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351502
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 外乱が入った場合の抑圧性の予測等を行い、より高性能な温度制御の実現を図る温度調節計を提供し、この温度制御性の向上を行うとともに、生産性の向上を図る露光装置を提供する。【解決手段】 気体の温度を調節する温度調節計であって、温度制御フィードバック系の伝達関数のパラメータであるプラントパラメータを算出する算出手段(ステップS3およびステップS4)と、前記プラントパラメータを表示する表示手段とを有する。

請求項（抜粋）：

温度制御フィードバック系を有し、気体の温度を調節する温度調節計であって、温度制御フィードバック系の伝達関数のパラメータであるプラントパラメータを算出する算出手段と、前記プラントパラメータを表示する表示手段とを有することを特徴とする温度調節計。

IPC (5件)：

G05B 11/36 503 ,  G05B 11/36 501 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 23/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G05B 11/36 503 C ,  G05B 11/36 501 B ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 23/00 B ,  H01L 21/30 516 E

Fターム (27件)：

5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5H004GA07 ,  5H004GB15 ,  5H004HA01 ,  5H004HB01 ,  5H004KA48 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004KB22 ,  5H004KB24 ,  5H004LA03 ,  5H004MA49 ,  5H323AA05 ,  5H323BB01 ,  5H323CA01 ,  5H323CB04 ,  5H323CB25 ,  5H323CB32 ,  5H323CB35 ,  5H323FF04 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323LL05 ,  5H323PP04