特許

J-GLOBAL ID：200903022718953382

位置決めテーブル装置

発明者： 佐藤 俊徳
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-136829
公開番号（公開出願番号）：特開2007-310019
出願日： 2006年05月16日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

【課題】基板吸着テーブルの撓みや変形を防止することのできる位置決めテーブル装置を提供する。【解決手段】基板吸着テーブル上に載置された基板の傾き及び高さ位置を調整する調整機構を回転テーブル141上に設置された三つのテーブル昇降機構17から構成した位置決めテーブル装置において、基板吸着テーブル12の下面部に当接するサポート部材をピストンロッドの先端部に有する5個のエアーシリンダ18を回転テーブル141の周囲に配置した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースの上方に設けられたテーブルと、該テーブルと前記ベースとの間に設けられ、各々前記テーブルの下面の支持点で前記テーブルを支持するとともに互いに独立に前記支持点を上下動可能な三つのテーブル昇降機構とを備えた位置決めテーブル装置において、 前記テーブルの下面部に当接するサポート部材を伸縮自在のロッドの先端部に有する少なくとも三つのアクチュエータを配置したことを特徴とする位置決めテーブル装置。

IPC (3件)：

G03F 9/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F9/00 Z ,  G12B5/00 A ,  H01L21/68 K

Fターム (16件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB16 ,  2F078CC16 ,  2H097BA10 ,  2H097LA11 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 分割逐次近接露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-307426   出願人：日本精工株式会社