特許
J-GLOBAL ID：200903022790070010
雰囲気中有害化学物質除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199048
公開番号（公開出願番号）：特開平7-024246
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【構成】 空気中の異なる有害化学物質を効果的に捕集可能な、活性炭繊維が包含された布はくが少なくとも二枚重ねられてなるフィルターを備えた雰囲気中有害化学物質除去装置。【効果】 クリーンルーム内の空気中の多種、多様な有害化学物質に対しては従来複数種のケミカルフィルターが必要であったが、本発明の装置によれば1個のケミカルフィルターですべて除去することができる。
請求項（抜粋）：
空気中の異なる有害化学物質を効果的に捕集可能な、活性炭繊維が包含された布はくが少なくとも二枚重ねられてなるフィルターを備えた雰囲気中有害化学物質除去装置。
IPC (6件)：
B01D 53/34 ZAB
, B01D 53/81 ZAB
, B01D 39/14
, B01D 53/40
, B01D 53/42
, H01L 21/02
B01D 53/34 ZAB B
, B01D 53/34 118 Z
, B01D 53/34 119
