特許
J-GLOBAL ID：200903022804286984
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-304023
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146276
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 感度、現像性、残膜率、耐熱性、基板との密着性、透明性および耐薬品性に優れたポジレジスト性感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 (A)不飽和カルボン酸、グリシジルオキシメチル基置換スチレン系モノマーおよびその他のモノマーからなる共重合体、(B)1,2-キノンジアジド化合物並びに(C)潜在性酸発生剤を含有する感放射線性組成物が提供される。
請求項（抜粋）：
[A](a-1)不飽和カルボン酸および(a-2)下記一般式[I]【化1】(上記一般式[I]中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜10のアルキル基であり、mは1〜5の整数である。)で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物、とを共重合成分として含有する共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、並びに[C]潜在性酸発生剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/039 501
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022 501
, G03F 7/027 511
, G03F 7/027 515
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022 501
, G03F 7/027 511
, G03F 7/027 515
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
