材料検査

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田明彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-609219
公開番号（公開出願番号）：特表2002-541443
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】検査ステーション(6)は、フラックスの低角度拡散光照射のために370nmのLEDリング(24)を有する。これは、フラックス添加剤又は前処理の必要なしに、フラックスの固有の蛍光発光を励起する。CCDセンサ(20)はこの発光を検出する。イメージプロセッサは、フラックスの表面上の体積と発光強度との関係に従って、フラックスの体積を表す出力データを生成する。強度の不均一は、双方共はんだペーストの塗布及びリフロー後に欠陥を生じさせる高さの不均一、又は隠れたボイドの存在を表わす。この検査は、はんだ塗布前のフラックス検査に特に有効である。

請求項（抜粋）：

エレクトロニクス製造プロセスにおいて基板上に付着される誘電体材料を検査する方法であって、 (d)前記材料に放射線励起を当てて、その材料の固有の蛍光による放射線発光を生じさせる過程と、 (e)前記発光を検出し、かつ発光強度データを測定する過程と、 (f)前記発光強度データを処理して、前記発光強度と材料の体積との関係に従って前記材料の体積を表わす出力データを生成する過程とを含むことを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , B23K 1/00 , G01N 21/64 , G01N 21/88

FI (4件)：

G01N 21/956 B , B23K 1/00 A , G01N 21/64 Z , G01N 21/88 K

Fターム (24件)：

2G043AA03 , 2G043BA14 , 2G043CA03 , 2G043EA01 , 2G043FA01 , 2G043GA08 , 2G043GA21 , 2G043GB21 , 2G043JA03 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043LA03 , 2G051AA65 , 2G051AB12 , 2G051AB20 , 2G051AC19 , 2G051BA05 , 2G051BB01 , 2G051BC01 , 2G051CA04 , 2G051CB10 , 2G051CC15 , 2G051DA05 , 2G051EA12

引用特許：

審査官引用 (8件)

発光性プリント基板上のフラックス残渣測定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-056480 出願人：日本電気株式会社
バイアホール検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165161 出願人：富士通株式会社
水質測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-025797 出願人：株式会社東邦計測研究所

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