固体材料表面改質方法および固体材料表面改質装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185315
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】小規模な装置で、短時間の処理時間でプラスチックス、ゴム、布、金属、半導体、セラミックス、木材、動植物体などの固体材料表面を改質することを目的とする。【構成】紫外光透過可能な誘電体と、その一方の側に配置された誘電体バリヤ放電用のガス雰囲気と第1の電極とを備えた誘電体バリヤ放電ランプと、前記誘電体の他方の側に配置された第2の電極と、前記誘電体と第2の電極との間に、処理用流体を供給する処理用流体供給手段と、第1の電極と第2の電極とに交流高電圧または直流パルス高電圧を印加する電源装置とよりなり、前記誘電体と第2の電極との間を固体材料表面の改質領域として構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

紫外光を透過することのできる誘電体と、この誘電体の一方の側に配置された誘電体バリヤ放電用のガス雰囲気と第1の電極とを具える誘電体バリヤ放電ランプと、前記誘電体の他方の側に、処理用流体を介して配置された第2の電極と、第1の電極と第2の電極とに交流高電圧または直流パルス高電圧を印加することのできる電源装置とより成り、前記誘電体と第2の電極との間を、固体材料表面の改質領域として構成したことを特徴とする固体材料表面改質装置。

IPC (6件)：

B01J 19/08 , C08J 7/00 304 , C22F 3/00 , C23C 16/48 , C23C 16/50 , C23F 4/00

引用特許：

出願人引用 (13件)

特開昭59-145779
特開平2-182883
レジスト膜のアッシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027464 出願人：ウシオ電機株式会社

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