特許
J-GLOBAL ID:200903022829896868
インプリント方法、情報記録媒体製造方法およびインプリントシステム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 伸司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-190975
公開番号(公開出願番号):特開2009-123318
出願日: 2008年07月24日
公開日(公表日): 2009年06月04日
要約:
【課題】押し付け完了後に基材から両スタンパーを容易に剥離可能としつつ、基材の両面に所望の凹凸パターンを高精度で形成する。【解決手段】A凹凸パターンが形成されたAスタンパーを中間体70の一方の面に押し付けると共にB凹凸パターンが形成されたBスタンパーを中間体70の他方の面に押し付けてA凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するC凹凸パターンおよびB凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するD凹凸パターンを中間体70の両面に形成する際に、AスタンパーおよびBスタンパーとして、平面視形状が互いに相似形で、かつ平面積が中間体70よりも大きいスタンパー50A1aおよびスタンパー50B1aを使用すると共に、スタンパー50B1aにおける外縁部の少なくとも一部がスタンパー50A1aに対して中間体70の厚み方向において重ならないように両スタンパーを中間体70の両面にそれぞれ押し付ける。【選択図】図5
請求項(抜粋):
A凹凸パターンが形成されたAスタンパーを基材の一方の面に押し付けて当該A凹凸パターンを当該一方の面に転写すると共にB凹凸パターンが形成されたBスタンパーを当該基材の他方の面に押し付けて当該B凹凸パターンを当該他方の面に転写することによって当該A凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するC凹凸パターンを当該一方の面に形成すると共に当該B凹凸パターンと凹凸位置関係が反転するD凹凸パターンを当該他方の面に形成するインプリント方法であって、
前記Aスタンパーおよび前記Bスタンパーとして、平面視形状が互いに相似形で、かつ平面積が前記基材よりも大きいA1スタンパーおよびB1スタンパーを使用すると共に、当該両スタンパーのいずれか一方における外縁部の少なくとも一部が他方に対して前記基材の厚み方向において重ならないように当該両スタンパーを当該基材の両面にそれぞれ押し付けるインプリント方法。
IPC (3件):
G11B 5/84
, G11B 5/855
, B29C 59/02
FI (3件):
G11B5/84 Z
, G11B5/855
, B29C59/02 Z
Fターム (20件):
4F209AA44
, 4F209AC05
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH38
, 4F209AJ08
, 4F209AJ11
, 4F209AK03
, 4F209PA02
, 4F209PA18
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5D112AA05
, 5D112AA19
, 5D112AA20
, 5D112AA24
, 5D112GA00
, 5D112GA17
引用特許:
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