特許
J-GLOBAL ID：200903022852316216

位置決め装置及び位置決め方法

発明者：
大沢 雅之

大沢 雅之 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250374
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062112
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 テンプレート画像の状態や作業者の習熟度や作業の状態に影響されずに、対象物上にアライメントマークを正確に指定することができ、このアライメントマークに基づいて対象物の正確な位置決めを行えるようにする。【解決手段】 既に記憶されているテンプレート画像のうちから、カメラ部4により撮像されている画像に近似したテンプレート画像を選び出し、これら画像が一致した場合には、既に記憶されていたテンプレート画像におけるアライメントマークの位置に基づいて、カメラ部4により撮像されている画像上におけるアライメントマークを決定し、新たなテンプレート画像として記憶する。
請求項（抜粋）：
対象物を載置させて移動操作する移動ステージと、上記移動ステージ上に載置された対象物を顕微鏡を介して撮像するカメラ部と、上記カメラ部により撮像された画像を表示する画像表示部と、上記画像表示部により表示された画像上に指標を表示するとともに、この指標によって該画像上において指定されたアライメントマークの該画像上の位置とともに該画像をテンプレート画像として記憶する信号処理装置とを備え、上記信号処理装置は、既に記憶されているテンプレート画像のうちから、上記カメラ部により撮像されている画像に近似したテンプレート画像を選び出し、これら画像が一致した場合には、既に記憶されていたテンプレート画像におけるアライメントマークの位置に基づいて、該カメラ部により撮像されている画像上におけるアライメントマークを決定し、新たなテンプレート画像として記憶することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 502 M
Fターム (22件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA09 ,  2F065BB03 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF27 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065UU05 ,  2F065UU09 ,  5F046EA30 ,  5F046EB10 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04
引用特許：
審査官引用 (6件)
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