特許
J-GLOBAL ID：200903022884567407
データ処理方法および装置、情報記憶媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106768
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298595
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 注目欠陥により製造結果が不良となる確率であるキラー率を良好な精度で算出する。【解決手段】 複数のダイごとに欠陥の個数と製造結果の良否とがデータ設定されたダイ調査データから注目欠陥のキラー率を算出するとき、ダイ調査データをダイに存在する注目欠陥の個数ごとに分類して各々でキラー率を算出し、この算出された複数グループのキラー率から注目欠陥が一個の場合のキラー率を複数グループごとに算出し、この複数グループごとのキラー率を各々の注目欠陥の個数に対応して重み付けし、その平均値として一つのキラー率を算出することで、ダイに存在する注目欠陥の個数の影響を反映した一つのキラー率を算出する。
請求項（抜粋）：
一個のウェハを区分した複数のダイごとに少なくとも欠陥の種別ごとの個数と製造結果の良否とがデータ設定されたダイ調査データを事前にデータ登録しておき、一つの種別の欠陥である注目欠陥を選定する種別選定データのデータ入力を受け付け、このデータ入力された種別選定データにより注目欠陥に対応したダイ調査データをデータ検索し、このデータ検索されたダイ調査データをダイに存在する注目欠陥の個数ごとに分類し、この分類された複数グループのダイ調査データごとにキラー率を算出し、この算出された複数グループごとのキラー率から注目欠陥が一個の場合のキラー率を複数グループごとに算出し、この算出された複数グループごとのキラー率を各々の注目欠陥の個数に対応して重み付けし、この重み付けされた複数グループごとのキラー率の平均値として一つのキラー率を算出するようにしたデータ処理方法。
IPC (2件)：
G06F 11/22 330
, H01L 21/66
G06F 11/22 330 B
, H01L 21/66 Z
4M106AA01
, 4M106DJ20
, 5B048AA20
