特許
J-GLOBAL ID：200903022885352935
スタック形コンデンサ及びその製法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347459
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183314
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【目的】 高誘電定数層とバリア層の劣化を防ぐために、バリアをシールオフすることによってスタック形コンデンサの容量を改善する。【構成】 本発明によるスタック形コンデンサは、アクセスデバイスに接続するためにトレンチの中に配置された1つの導電性プラグを含んでいる。1つのバリアは前記プラグ内に形成され、そしてトレンチの中に配置される。誘電体層はトレンチを覆うように形成され、誘電体層は1つの穴を形成し、その穴を通して少なくともバリアの一部を露出させる。第1電極は、穴の中で形成され、そして穴から延長している。コンデンサ誘電体層は第1電極上に形成され、そして第2電極から第1電極を分離させ、さらに誘電体層と第1電極とは、バリアの材料とコンデンサ誘電体層の材料と、そしてコンデンサ誘電体層を形成するのに用いられる酸化環境との間での、化学的相互作用を実質的に防止する。
請求項（抜粋）：
スタック形コンデンサにおいて、アクセスデバイスに接続するためにトレンチの中に配置された1つの導電性プラグと、プラグ上に形成され、トレンチの中に配置された1つのバリアと、トレンチを覆って形成された1つの誘電体層とを含み、前記誘電体層は1つの穴を形成し、その穴を通して少なくともバリアの一部を露出させ、穴の中に形成されて、穴から延長している第1電極と、第1電極上に形成され、第2電極から第1電極を分離させている1つのコンデンサ誘電体層とを含み、前記誘電体層及び前記第1電極が、前記バリアの材料との化学的相互作用を実質的に防止している、ことを特徴とするスタック形コンデンサ。
IPC (3件)：
H01L 27/108
, H01L 21/8242
, H01G 4/33
H01L 27/10 621 C
, H01L 27/10 651
, H01G 4/06 102
