特許
J-GLOBAL ID：200903022889195702

ウエハ搬送装置および半導体製造装置

発明者：
芹川 浩一

芹川 浩一 について


出願人/特許権者：
九州日本電気株式会社

九州日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-297133
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124290
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 ウエハカセット内でロボットハンドと接触して傷が発生したウエハを検出して、ウエハに傷が発生するという被害を少なくすることができるウエハ搬送装置を実現する。【解決手段】 ウエハカセットの内部には、複数のウエハ3が垂直方向に整列して収納されている。複数のウエハ3のうちのウエハ3bをウエハカセットに搬入する際に、ロボットハンド2の停止位置の経時的な位置ずれや、ウエハカセットの歪みなどが原因でロボットハンド2の裏面がウエハ3cに接触することによりウエハ3cが位置ずれを起こしている。ウエハ3cの、搬送基準線9から飛び出た突出部分が反射式フォトセンサー1により検出され、反射式フォトセンサー1の検出信号がロボット制御ユニット6に送信される。検出信号を受信したロボット制御ユニット6は、ロボットハンド2の動作を強制停止させると共にブザー7に信号を送り、ブザー7から警報が出される。
請求項（抜粋）：
複数のウエハが所定の間隔をおいて垂直方向に整列するように前記ウエハのそれぞれを所定の位置に配置して前記ウエハを複数枚収納するウエハカセットと、前記ウエハの裏面を吸着して前記ウエハカセットに対する前記ウエハの搬出および搬入を行い、前記ウエハを搬送するロボットハンドと、前記ウエハカセット内の複数の前記ウエハのうち、所定の位置からの位置ずれを起こしたウエハを検出する検出手段と、前記ロボットハンドの動作を制御し、前記検出手段が、前記ウエハカセット内で位置ずれを起こした前記ウエハを検出した際に前記ロボットハンドの動作を停止させる制御手段と、前記検出手段が、前記ウエハカセット内で位置ずれを起こした前記ウエハを検出した際に警報を出す報知手段とを有するウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (2件)：
H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 C
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA25 ,  5F031JA51 ,  5F031MA27 ,  5F031PA13
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特開昭64-005784
  • 特開平4-075362
  • 基板検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-341897   出願人：国際電気株式会社

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