特許

J-GLOBAL ID：200903022895520500

超純水製造方法、及びその装置

発明者： 真鍋 敏樹 ,  田辺 円
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195552
公開番号（公開出願番号）：特開平6-039366
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】 超純水の製造において、イオン交換処理、逆浸透膜処理で除去できない一次処理水中の非イオン性有機物を除去する。【構成】 一次処理工程中に紫外線酸化処理5、脱気処理6、イオン交換処理7を組込む。なお、1は原水、2は前処理装置、3はイオン交換装置、4は逆浸透膜装置である。

請求項（抜粋）：

原水を一次処理工程及び二次処理工程で順次処理することにより、超純水を製造する超純水製造方法において、一次処理工程が少なくとも一連の紫外線酸化処理と脱気処理とイオン交換処理の組合せの有機物除去処理、または一連の紫外線酸化処理とイオン交換処理と脱気処理の組合せの有機物除去処理を含み、これにより水中に含まれる非イオン性有機物を除去することを特徴とする超純水製造方法。

IPC (5件)：

C02F 1/20 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 9/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-040292
  
• 超純水の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-301993   出願人：日本錬水株式会社