研磨材組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222005
公開番号（公開出願番号）：特開2000-053946
出願日： 1998年08月05日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】研磨加工において高精度面を高能率で得るための研磨材組成物を提供すること。【解決手段】水及びカップリング剤で表面処理した砥粒を含む研磨材組成物。研磨中に研磨材粒子が研磨パッドに強く保持される状況を作り出すことで、面精度と研磨速度の両立を高いレベルで実現することができる。

請求項（抜粋）：

水及びカップリング剤で表面処理した砥粒を含むことを特徴とする研磨材組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 , B24D 3/00 330 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

C09K 3/14 550 C , B24D 3/00 330 C , H01L 21/304 622 D

Fターム (10件)：

3C063BB01 , 3C063BB02 , 3C063BB03 , 3C063BB04 , 3C063BB07 , 3C063BB14 , 3C063EE01 , 3C063EE02 , 3C063EE10 , 3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (6件)

全件表示

前のページに戻る