特許
J-GLOBAL ID：200903022917542693

反射光学系、及びそれを用いた投影装置

発明者：
栗岡 善昭

栗岡 善昭 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102805
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309765
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】複数の曲率を有する光学反射面を含む結像光学系において、反射光学系の開口部の数を減らし、大きさを小さくできることで、光学系をコンパクトにすること、保持機構の強度を確保しやすく、高性能な反射光学系を提供する。【解決手段】複数の曲率を有する光学反射面を含む結像光学系において、入射光束が反射光学系へ入射する際に通過する一対の光学反射面の間隙と射出光束が射出する際に通過する一対の光学反射面の間隙を同一にすることを特徴としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の曲率を有する光学反射面を含む結像光学系において、入射光束が反射光学系へ入射する際に通過する一対の光学反射面の間隙と射出光束が射出する際に通過する一対の光学反射面の間隙を同一にすることを特徴とする反射光学系。
IPC (2件)：
G03B21/00 ,  G02B17/08
FI (3件)：
G03B21/00 E ,  G03B21/00 F ,  G02B17/08 Z
Fターム (10件)：
2H087KA06 ,  2H087TA01 ,  2H087TA05 ,  2K103AA05 ,  2K103AA07 ,  2K103AA16 ,  2K103AB07 ,  2K103BC05 ,  2K103CA12 ,  2K103CA26
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM