特許
J-GLOBAL ID:200903022938409586

透明導電性フィルム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-031577
公開番号(公開出願番号):特開2006-019239
出願日: 2005年02月08日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】 タッチパネルなどの用途に適した表面抵抗を有し、かつ高温高湿度での信頼性にすぐれる、つまり耐湿熱性能にすぐれる透明導電性フィルムを提供する。【解決手段】 透明なフィルム基材1の一方の面に、乾式薄膜形成法により、厚さが10〜100nm、光の屈折率が1.40〜1.80、平均表面粗さ〔Ra〕が0.8〜3.0nmである透明なSiOx(x=1.0〜2.0)薄膜2を形成し、この薄膜2上に、厚さが20〜35nm、SnO2 /(In2 O3 +SnO2 )重量比が3〜15重量%であるインジウム・スズ複合酸化物からなる透明な導電性薄膜3を形成して、表面抵抗値が250〜500Ω/□、85°C,85%RH下で500〜1,000時間放置後の抵抗変化率が1.5倍以下である透明導電性フィルムを製造する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
透明なフィルム基材の一方の面に、厚さが10〜100nm、光の屈折率が1.40〜1.80、平均表面粗さ〔Ra〕が0.8〜3.0nmである透明なSiOx(x=1.0〜2.0)薄膜を介して、厚さが20〜35nm、SnO2 /(In2 O3 +SnO2 )重量比が3〜15重量%であるインジウム・スズ複合酸化物からなる透明な導電性薄膜を有することを特徴とする透明導電性フィルム。
IPC (4件):
H01B 5/14 ,  G06F 3/045 ,  G06F 3/041 ,  H01B 13/00
FI (4件):
H01B5/14 A ,  G06F3/03 320G ,  G06F3/033 360H ,  H01B13/00 503B
Fターム (15件):
5B068AA33 ,  5B068BB06 ,  5B068BC08 ,  5B087AA04 ,  5B087CC01 ,  5B087CC05 ,  5B087CC14 ,  5B087CC16 ,  5B087CC37 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC04 ,  5G307FC06 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
引用特許:
出願人引用 (5件)
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