特許
J-GLOBAL ID：200903022962109690
極端紫外光光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-326060
公開番号（公開出願番号）：特開2007-134166
出願日： 2005年11月10日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：
【課題】集光光学系に付着、堆積したスズおよび/またはスズ化合物のデブリを除去する手段を備えた、スズを極端紫外光放射種に用いた極端紫外光光源装置を提供すること。【解決手段】容器10内に極端紫外光放射種であるスズを導入するために、スズなどの原料を供給する原料供給手段と、容器10内で原料を加熱・励起して高密度高温プラズマを発生させる加熱・励起手段11,12,13と、上記プラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光光学手段2と、集光光学手段2を介して極端紫外光を取り出す取り出し部7と、容器10に接続された排気手段9とを有する極端紫外光光源装置において、集光光学手段2を加熱して集光光学手段2に付着、堆積したスズなどを液化する加熱手段8と、液化したスズなどを集光光学手段2から除去する除去手段5a、5b・・・とを備えた極端紫外光光源装置である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高密度高温プラズマが発生する容器と、
この容器内に、極端紫外光放射種であるスズを導入するために、スズおよび/またはスズ化合物を含む原料を供給する原料供給手段と、
上記容器内で上記供給された原料を加熱・励起して高密度高温プラズマを発生させる加熱・励起手段と、
上記高密度高温プラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光光学手段と、
上記集光光学手段を介して極端紫外光を取り出す極端紫外光取り出し部と、
上記容器に接続された排気手段とを有する極端紫外光光源装置において、
上記集光光学手段を加熱して該集光光学手段に付着、堆積したスズおよび/またはスズ化合物を液化する加熱手段と、
上記液化したスズおよび/またはスズ化合物を、上記集光光学手段から除去する除去手段とを備えたことを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4C092AA04
, 4C092AA14
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 4C092BD20
