トロイダル低電場反応性ガスソース

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-505688
公開番号（公開出願番号）：特表2002-507315
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】ガスを解離する装置は、金属材料から形成され得るプラズマチャンバと、プラズマチャンバの一部を取り囲む磁気コアおよび1次巻線を有する変圧器とを含む。装置はさらに、電圧源に直接接続されており、変圧器の1次巻線に接続された出力を有する、1以上のスイッチング半導体装置を含む。1以上のスイッチング半導体装置は、チャンバ内にプラズマを形成するポテンシャルを誘導する、1次巻線内の電流を駆動し、そのことが変圧器の2次回路を完成させる。

請求項（抜粋）：

ガスを解離する装置であって、 a)プラズマチャンバと、 b)該プラズマチャンバの一部を取り囲む磁気コアと、1次巻線とを有する変圧器と、 c)電圧源に直接接続され、該1次巻線に接続された出力を有する、1以上のスイッチング半導体装置と、を含み、該1以上のスイッチング半導体装置が、該1次巻線内の電流を駆動し、該電流が、該チャンバ内にプラズマを形成するポテンシャルを誘導し、そのことが該変圧器の2次回路を完成させる、装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 , H01J 27/16 , H01J 37/32 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (7件)：

H05H 1/46 R , H01J 27/16 , H01J 37/32 , H01L 21/205 , H01L 21/205 L , H01L 21/205 B , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平2-260399
特開平1-122363
特開昭64-000699

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