特許
J-GLOBAL ID：200903023022276340

スピンエッチャー

発明者：
高井 薫

高井 薫 について


出願人/特許権者：
有限会社サン・メック

有限会社サン・メック について


代理人 (1件)： 村上 友一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171568
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007075
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 多種直径のウェハをエッチングするのに1台のスピンエッチャーで対応できるようにし、スピンエッチャーの台数を減ずるとともに、狭い設置場所で安価設備費で対応でき、作業が容易な多種直径ウェハ対応スピンエッチャーを提供する。【解決手段】 ウェハを回転させながら、ウェハの上側からエッチング液を流してウェハの上面をエッチングするスピンエッチャーである。ウェハ搭載部にてウェハの外周縁部に複数配置され、ウェハ外周端面に当接して押え込みをなす保持部材をウェハ搭載部の外縁部でウェハ平面に沿って移動可能に取り付け、ウェハ直径に合わせて当該保持部材による押さえつけ位置を可変とすることにより、1台のスピンエッチャーで多種直径のウェハに対応可能とした構成としている。
請求項（抜粋）：
ウェハを回転させながら、ウェハの上側からエッチング液を流してウェハの上面をエッチングするスピンエッチャーであって、ウェハ搭載部にてウェハの外周縁部に複数配置され、ウェハ外周端面に当接して押え込みをなす保持部材をウェハ搭載部の外縁部でウェハ平面に沿って移動可能に取り付け、ウェハ直径に合わせて当該保持部材による押さえつけ位置を可変とすることにより、1台のスピンエッチャーで多種直径のウェハに対応可能としたことを特徴とするスピンエッチャー。
Fターム (2件)：
5F043EE08 ,  5F043EE35
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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