基板保持機構

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-306924
公開番号（公開出願番号）：特開平10-146557
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】基板やスピンベースの破損を招かずに基板を保持して高速回転させる。【解決手段】鉛直軸J1回りに回転可能なスピンベース4に基板保持部10が設けられている。可動保持部10は鉛直軸J2回りに回動可能にスピンベース4に設けられた回動部材11、回動部材11を挟んで対向する側方に延出され、回動部材11の回動軸芯J2を揺動支点として揺動可能に回動部材11に設けられた揺動部材12と保持アーム13、保持アーム13に設けられた保持部14を備えている。揺動部材12の揺動作用点がスピンベース4の回転中心J1から離れる方向に揺動部材12が揺動付勢されると保持部14により基板Wが保持され、揺動作用点が回転中心J1側に引き戻されるように揺動部材12が揺動されると基板Wの保持が解除される。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、基板の外周端部を3箇所以上で保持するために3つ以上有しており、その3つ以上のうち少なくとも1つが可動保持部である基板保持部と、基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるための第1変位手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第2変位手段と、前記可動保持部と前記第1変位手段および前記第2変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、前記回動部材を挟んで前記揺動部材とは反対側の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられ、かつ基板の外周端部に当接する保持面を有する保持部材と、を備えることを特徴とする基板保持機構。

IPC (5件)：

B05C 11/08 , B25J 15/08 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H01L 21/68

FI (6件)：

B05C 11/08 , B25J 15/08 K , H01L 21/304 341 C , H01L 21/68 N , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C

引用特許：

出願人引用 (8件)

特公平3-009607
回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-173251 出願人：柴垣喜造, 濱田祐己
特開平1-216542

全件表示

審査官引用 (8件)

特公平3-009607
回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-173251 出願人：柴垣喜造, 濱田祐己
特開平1-216542

全件表示

前のページに戻る