特許

J-GLOBAL ID：200903023045158751

電子源用探針およびその製造方法

発明者： 水野 清義 ,  ラハマン エフエイチエム ファリドール
出願人/特許権者： 水野 清義
代理人 (2件)： 加藤 久 ,  堀田 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-139336
公開番号（公開出願番号）：特開2008-293844
出願日： 2007年05月25日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：

【課題】電子源用探針を先鋭化するにあたって、従来のものよりもさらに先鋭化が可能であり、かつ先鋭化する工程を制御しやすいため再現性良く電子源用探針を作製することが可能な電子源用探針の製造方法と、この製造方法によって得られる電子源用探針を提供する。【解決手段】酸素の導入によって、<111>方向を向いた単結晶タングステンワイヤ21の先端部のタングステン原子22に酸素原子が結合して、酸化タングステンが形成される。この酸化タングステンが断続的に剥がれることにより、単結晶タングステンワイヤ21からなる探針の先端部が著しく先鋭化される。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

タングステンからなる電子源用探針であって、酸素の導入により形成された酸化タングステンが脱落することにより、先端部が先鋭化されていることを特徴とする電子源用探針。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J9/02 B

Fターム (9件)：

5C127AA04 ,  5C127BA10 ,  5C127BB02 ,  5C127DD72 ,  5C127DD94 ,  5C127EE17 ,  5C135AA10 ,  5C135AB02 ,  5C135HH17