特許

J-GLOBAL ID：200903023071860898

濾紙とこれを利用したエアーフィルタ

発明者： 藤江 信夫 ,  長尾 直樹 ,  渡辺 謙二 ,  竹内 哲也 ,  大塚 一彦 ,  住岡 將行
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社 ,  ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077124
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285318
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 粒子状汚染物を濾過するのみでなく、半導体等の電子分野における製品やバイオ系製品の特性劣化を招くクリーンルーム内の分子汚染物をも除去できる濾紙及びエアーフィルタを提供すること。【構成】 繊維径が0.2〜12μm 、純水中へのホウ素溶出量(65°C×120時間)が1.5×10-5g/g繊維を越えない石英系ガラス繊維を使用して抄紙した濾紙であって、空気が通過するときに、ホウ素と有機化合物が吸着捕集される。

請求項（抜粋）：

繊維径が0.2〜12μm 、純水中へのホウ素溶出量(65°C×120時間)が1.5×10-5g/g繊維を越えない石英系ガラス繊維を使用して抄紙した濾紙であって、空気が通過するときに、ホウ素と有機化合物が吸着捕集されることを特徴とする濾紙。

IPC (5件)：

B01D 39/20 ZAB ,  B01D 46/52 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 120 ,  B01D 53/34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 気体用濾材及びこれから作成したフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-211773   出願人：ニッタ株式会社, 富士通株式会社