特許

J-GLOBAL ID：200903023076415760

光源形状の最適化方法

発明者： 春木 珠江
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267415
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120119
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は光源形状の最適化方法に関し、デバイスパターンに応じて最適な光源形状を得るための光源形状の最適化方法を提供することを目的としている。【構成】 所定の照射面積を有する光源面を所定ブロック毎に分割するとともに、分割した各ブロックに相当する点光源のそれぞれを最適化処理の処理要素とみなし、該処理要素をニ値情報とし、デバイス形状,マスク形状,光学的パラメータ,最適化パラメータの各条件に基づいてて所定の評価判断条件を満足するまで該処理要素の値を該各ブロック数分変化させることにより最適化組み合わせ処理を行い、光源形状を算出するように構成する。

請求項（抜粋）：

所定の照射面積を有する光源面を所定ブロック毎に分割するとともに、分割した各ブロックに相当する点光源のそれぞれを最適化処理の処理要素とみなし、該処理要素を二値情報とし、デバイス形状,マスク形状,光学的パラメータ,最適化パラメータの各条件に基づいて所定の評価判断条件を満足するまで該処理要素の値を該各ブロック数分変化させることにより最適化組み合わせ処理を行い、光源形状を算出することを特徴とする光源形状の最適化方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-007835   出願人：株式会社東芝
• 特開平2-162465
  
• 特開平1-293629
  

審査官引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-007835   出願人：株式会社東芝