特許
J-GLOBAL ID：200903023111324471
空気バネ式除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093192
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264430
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 空気バネ式除振装置において、かかる従来技術の問題点を除去する。【構成】 空気バネをアクチュエータとした能動的除振装置であって、除振台5、これを支持する空気バネ3、その圧力調整するサーボバルブ2、除振台の位置を検出する位置センサ4、除振台の加速度を検出する加速度センサ9、除振台に予圧を付与する予圧手段6、および除振台に働く粘性要素を有する空気バネ式支持脚1と、加速度および位置をフィードバック要素として、サーボバルブに駆動電流を付与する電圧電流変換器11に作用信号を付与するフィードバック装置8と、除振台の上に搭載された機器の加減速信号を疑似微分する疑似微分器18と、疑似微分器のパルス波形の出力信号の系列から任意の数だけパルス波形を選択するパルス波形選択器19とを具備し、パルス波形選択器の出力をフィードバック装置に対し、電圧電流変換器の前段においてフィードフォワード入力する。
請求項（抜粋）：
空気バネをアクチュエータとした能動的除振装置であって、除振台、これを支持する前記空気バネ、その圧力調整するサーボバルブ、除振台の位置を検出する位置センサ、除振台の加速度を検出する加速度センサ、除振台に予圧を付与する予圧手段、および除振台に働く粘性要素を有する空気バネ式支持脚と、前記加速度および位置を要素として、前記サーボバルブに駆動電流を付与する電圧電流変換器に作用信号を付与するフィードバック装置と、前記除振台の上に搭載された機器の加減速信号を疑似微分する疑似微分器と、前記疑似微分器のパルス波形の出力信号の系列から任意の数だけパルス波形を選択するパルス波形選択器とを具備し、前記パルス波形選択器の出力を前記フィードバック装置に対し、フィードフォワード入力することを特徴とする空気バネ式除振装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, F16F 15/02
, F16F 15/04
, G03B 5/00
, G05D 19/02
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 F
, F16F 15/02 A
, F16F 15/04 A
, G03B 5/00 J
, G05D 19/02 D
, H01L 21/68 K
