特許
J-GLOBAL ID：200903023123241962
切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055358
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252240
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 被加工物を切削する場合において、生産性を低下させることなく切削溝の状態を検出できるようにして、品質の低いペレットが形成されてしまうのを未然に防止できるようにする。【解決手段】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレード11を備えた切削手段10とから少なくとも構成される切削装置において、切削手段10に隣接する位置に、被加工物の切削により形成された切削溝を検出する検出手段20を配設する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、該切削手段に隣接する位置に、被加工物の切削により形成された切削溝を検出する検出手段を配設したことを特徴とする切削装置。
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 C
