特許
J-GLOBAL ID:200903023185491140
高調波レーザビーム発生装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-050921
公開番号(公開出願番号):特開2005-243879
出願日: 2004年02月26日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】 レーザ光源と波長変換装置とを含み、高調波への変換効率を高めることができる高調波レーザビーム発生装置を提供する。【解決手段】 高調波レーザビーム発生装置は、光共振器を有し、パルスレーザビームを出射するQスイッチレーザ光源である第1のレーザ光源と、前記第1のレーザ光源が出射するパルスレーザビームのパルス幅より短いパルス幅のパルスレーザビームを出射する第2のレーザ光源と、前記第2のレーザ光源から出射したパルスレーザビームを、前記第1のレーザ光源が有する光共振器内を往復する光の経路に沿って進行させる光学系と、前記第1のレーザ光源が有する光共振器から出射したレーザビームが入射するように配置され、入射したレーザビームの2次以上の高調波を発生させる波長変換装置とを有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光共振器を有し、パルスレーザビームを出射するQスイッチレーザ光源である第1のレーザ光源と、
前記第1のレーザ光源が出射するパルスレーザビームのパルス幅より短いパルス幅のパルスレーザビームを出射する第2のレーザ光源と、
前記第2のレーザ光源から出射したパルスレーザビームを、前記第1のレーザ光源が有する光共振器内を往復する光の経路に沿って進行させる光学系と、
前記第1のレーザ光源が有する光共振器から出射したレーザビームが入射するように配置され、入射したレーザビームの2次以上の高調波を発生させる波長変換装置と
を有する高調波レーザビーム発生装置。
IPC (3件):
H01S3/109
, G02F1/37
, H01S3/115
FI (3件):
H01S3/109
, G02F1/37
, H01S3/115
Fターム (14件):
2K002AB12
, 2K002AB27
, 2K002BA02
, 2K002CA02
, 2K002DA01
, 2K002HA20
, 5F072AB01
, 5F072JJ02
, 5F072KK12
, 5F072KK13
, 5F072KK30
, 5F072PP01
, 5F072QQ02
, 5F072SS06
引用特許:
引用文献:
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