特許
J-GLOBAL ID:200903058554661134

レーザ装置、レーザ加工装置及びレーザ加工方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-095926
公開番号(公開出願番号):特開2003-290963
出願日: 2002年03月29日
公開日(公表日): 2003年10月14日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 加工用のレーザビームの波長を容易に変えることが可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1が、直線偏光のレーザビームを出射する。レーザ光源から出射されたレーザビームが偏光制御素子2に入射する。偏光制御素子は、入射したレーザビームの偏光方向を旋回させ、その旋回角度が可変である。偏光制御素子によって偏光方向を制御されたレーザビームが波長変換素子3に入射する。波長変換素子は、入射したレーザビームの波長を変換する。波長変換効率は、入射したレーザビームの偏光方向によって異なる。
請求項(抜粋):
直線偏光のレーザビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの偏光方向を旋回させ、旋回角度が可変である偏光制御素子と、前記偏光制御素子によって偏光方向を制御されたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの波長を変換する波長変換素子であって、波長変換効率が、入射したレーザビームの偏光方向によって異なる前記波長変換素子とを有するレーザ装置。
IPC (4件):
B23K 26/06 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  B23K101:42
FI (5件):
B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 Z ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  B23K101:42
Fターム (15件):
2H079AA02 ,  2H079BA02 ,  2H079CA24 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  4E068AF01 ,  4E068CA04 ,  4E068CB10 ,  4E068CD08 ,  4E068DA11 ,  4E068DB14
引用特許:
審査官引用 (6件)
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