特許
J-GLOBAL ID：200903023187939319
カ-ボン材料とその製造方法、及びそれを用いた電界放出型冷陰極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347955
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215788
出願日： 1999年10月31日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 カーボン膜より成るエミッタを有する電界放出型冷陰極において、先鋭な形状のエミッタを形成し、なおかつ複数個のエミッタを細密に形成し高エミッション電流特性を実現できる装置と製造方法を提供する。【解決手段】 開示される電界放出型冷陰極は、カーボン材料をエミッタとして形成される電界放出型冷陰極であって、基板電極上に複数の針状のカーボン膜の突起を有することを特徴とする。これにより、高電流特性を有する電界放出型冷陰極を提供できる。また、基板電極上に形成されたカーボン膜に水素ガス中でECRプラズマ処理を行うことにより、容易に針状で密に形成されたカーボンより成るエミッタを有する電界放出型冷陰極を形成できる。
請求項（抜粋）：
カーボン膜の表面が炭素よりなる針状の突起構造で覆われていることを特徴とするカーボン材料。
IPC (5件)：
H01J 1/304
, C01B 31/02 101
, C23C 16/27
, C30B 29/04
, H01J 9/02
H01J 1/30 F
, C01B 31/02 101 Z
, C23C 16/27
, C30B 29/04 V
, H01J 9/02 B
