ルツボおよびそれを使用した多結晶シリコンの成長方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-367779
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170780
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】大きな形状の多結晶シリコンのインゴットを、キャスト法によって、経済的に成長させることができる。【解決手段】固体の原料シリコンが融解された際に、その融解されたシリコンが収容されるルツボ本体部11と、このルツボ本体部11上に、ルツボ本体部11内に充填された原料シリコン20上にさらに原料シリコン20を保持するように設けられた原料保持部12とを有している。ルツボ本体部11および原料保持部12に固体のシリコン原料20をそれぞれ充填して加熱して融解させた後に、ルツボ本体部11において、融解された原料シリコン20を凝固させることにより、多結晶シリコンのインゴットが得られる。

請求項（抜粋）：

多結晶シリコンをキャスト法によって成長させる際に使用されるルツボであって、固体の原料シリコンが融解された際に、その融解されたシリコンが収容されるルツボ本体部と、このルツボ本体部上に、該ルツボ本体部内に充填された原料シリコン上にさらに原料シリコンを保持するように設けられた原料保持部と、を具備することを特徴とするルツボ。

IPC (2件)：

H01L 21/208 , C01B 33/02

FI (2件)：

H01L 21/208 Z , C01B 33/02 E

Fターム (13件)：

4G072AA01 , 4G072GG03 , 4G072GG04 , 4G072HH01 , 4G072MM38 , 4G072NN01 , 4G072NN02 , 4G072UU01 , 5F053AA25 , 5F053BB04 , 5F053DD01 , 5F053GG02 , 5F053LL05

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭64-042388
特開昭58-217417
特開昭58-217418

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