特許

J-GLOBAL ID：200903023229302235

光学的厚さ計

発明者： 磯崎 健二
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179487
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004332
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】主要部品を交換することなく透明フィルム等の各種被測定物の厚さを測定でき、しかも光強度の変化の影響を受けることなくフィルム厚さを測定することのできる光学的厚さ計を実現する。【解決手段】光透過体で屈折率が1以外の被測定物表面に対し斜め方向から細い光ビームを照射する光源部と、前記被測定物透過後の光ビームの光点位置を検出する受光器と、この受光器の出力を受け、被測定物が無いときの光ビームの光点位置と被測定物透過後の光ビームの光点位置との差から前記被測定物の厚さを求める処理装置を具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光透過体で屈折率が1以外の被測定物表面に対し斜め方向から細い光ビームを照射する光源部と、前記被測定物透過後の光ビームの光点位置を検出する受光器と、この受光器の出力を受け、被測定物が無いときの光ビームの光点位置と被測定物透過後の光ビームの光点位置との差から前記被測定物の厚さを求める処理装置を具備したことを特徴とする光学的厚さ計。

Fターム (12件)：

2F065AA19 ,  2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065DD13 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ25

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 板厚測定方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-222760   出願人：株式会社ナノテム
• 特開昭56-069505