特許
J-GLOBAL ID：200903023229654875
斜出射X線分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091277
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286661
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 X線検出器の取付け方向と試料ステージの傾斜軸の幾何学的な位置関係に関わらずに特性X線の取出し角度の調整を可能とし、且つ、取出し角度調整時の観察視野の変動も抑えた、新しい斜出射X線分析方法を提供する。【解決手段】 特性X線(2)をX線検出器(5)により検出する際に、試料(3)内部からの特性X線(2)がその全反射現象により検出されない角度以下に特性X線(2)の取出し角度を設定する斜出射電子線プローブマイクロX線分析方法において、試料(3)のZ軸上の位置を調整することにより特性X線(2)の取出し角度を前記角度以下に設定する。
請求項（抜粋）：
特性X線をX線検出器により検出する際に、試料内部からの特性X線がその全反射現象により検出されない角度以下に特性X線の取出し角度を設定する斜出射X線分析方法において、試料のZ軸上の位置を調整することにより特性X線の取出し角度を前記角度以下に設定することを特徴とする斜出射X線分析方法。
Fターム (16件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001EA03
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001JA12
, 2G001MA04
, 2G001NA07
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001PA14
, 2G001PA15
, 2G001PA30
出願人引用 (1件)
審査官引用 (2件)
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特開昭56-141155
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特開昭56-141155
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