分子配向有機膜の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317326
公開番号（公開出願番号）：特開平8-176803
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【構成】イオン化した分子に加速電圧を加えて基板との相互作用を制御し、交互に積層蒸着させて配向性を向上させることにより有機膜を製造する。【効果】再現性の高い液晶配向膜の作製や次世代のLSIにおける超平坦な界面の形成、極めて薄い絶縁膜の形成、分子デバイスへの応用が可能である。

請求項（抜粋）：