特許

J-GLOBAL ID：200903023248048773

ダミーウエハ

発明者： 上井 敏治 ,  野畑 光晴
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087712
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270433
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 エッチング消耗および微細パーティクル発生が少なく、長期間安定に使用することのできるダミーウエハを提供する。【解決手段】 波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 (単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状カーボン材からなるダミーウエハ。R≧(d002 -3.344)/0.135 ...(1)

請求項（抜粋）：

波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002(単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状カーボン材からなることを特徴とするダミーウエハ。R≧ (d002 -3.344)/0.135 ...(1)

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C01B 31/02 101 ,  C23F 4/00

FI (3件)：

H01L 21/302 N ,  C01B 31/02 101 A ,  C23F 4/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プラズマエッチング用電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-279984   出願人：東海カーボン株式会社
• プラズマエッチング用カーボン電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-200151   出願人：新日本製鐵株式会社, 新日鐵化学株式会社