特許

J-GLOBAL ID：200903023281515859

高純度透明石英ガラス及びその製造方法

発明者： 岡村 敏彦 ,  長田 裕也 ,  加茂 賢治 ,  津久間 孝次 ,  須藤 一 ,  菊地 義一
出願人/特許権者： 東ソー株式会社 ,  日本石英硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-163619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-012322
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、不純物の少ない合成シリカを原料として用いた場合と同等の高純度、すなわちアルカリ金属等の不純物をそれぞれ1ppm以下に抑えることができ、しかも上記天然水晶を原料とした場合の石英ガラスと同等の耐熱性をもち、ガラス中に直径50μm以上の気泡が存在しない高純度透明石英ガラスを提供することにある。【構成】非晶質シリカ粉末を成形し、焼結して石英ガラスを製造する方法において、シリカ粉末として平均粒径0.5〜5μmの範囲内にあり、Na、K、Fe、Ti、Al、Ca、Li、Zr、Mg、Clの各不純物含有量が1ppm以下である粉末を使用し、それを目的の形状に成形した後、真空雰囲気下で、成形体に開気孔がなくなる1300〜1600°Cまで焼結した後、窒素あるいはアルゴン雰囲気下でさらに焼結、溶融することを特徴とする高純度透明石英ガラスの製造方法。

請求項（抜粋）：

非晶質シリカ粉末を成形し、焼結して石英ガラスを製造する方法において、シリカ粉末として平均粒径0.5〜5μmの範囲内にあり、Na、K、Fe、Ti、Al、Ca、Li、Zr、Mg、Clの各不純物含有量が1ppm以下である粉末を使用し、それを目的の形状に成形した後、真空雰囲気下で、成形体に開気孔がなくなる1300〜1600°Cまで焼結した後、窒素あるいはアルゴン雰囲気下でさらに焼結、溶融することを特徴とする高純度透明石英ガラスの製造方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/06

FI (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/06 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-005329
  
• 高純度透明石英ガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-249417   出願人：日東化学工業株式会社, 東ソー株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 特開平3-005329