特許

J-GLOBAL ID：200903023361324230

パターン検査方法及びパターン検査装置

発明者： 服部 新一 ,  井田 徹
出願人/特許権者： 日本アビオニクス株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-119537
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307918
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 一塊の欠陥候補をまとめて検査効率を向上させる。【解決手段】 マスタパターンと被測定パターンの論理演算により、被測定パターンの各画素が欠陥候補か否かを2値で表現した検査結果が得られる(ステップ107〜110)。所定の2値表現パターンであるテンプレートと検査結果を比較し、検査結果中からテンプレートと一致する領域を検出したときに、この領域の特定位置の欠陥候補を有効としそれ以外を無効として欠陥候補をまとめる(ステップ111)。欠陥候補を含む所定の領域について被測定パターンとマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査する(ステップ112)。

請求項（抜粋）：

被測定パターンと比較するための基準となるマスタパターンと前記被測定パターンとの論理演算により被測定パターンの欠陥候補を検出し、欠陥候補を含む所定の領域について被測定パターンとマスタパターンの誤差を求めることにより被測定パターンを検査するパターン検査方法において、被測定パターンの各画素が欠陥候補か否かを2値で表現した、前記論理演算による検査結果から、この検査結果に含まれる欠陥候補の連結性を判断し、この連結性の判断結果に基づき、一塊の欠陥候補中から特定の候補を有効としそれ以外を無効として欠陥候補をまとめることを特徴とするパターン検査方法。

IPC (2件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/70 330 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-245007
  
• 配線パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-014600   出願人：松下電器産業株式会社