ウェハ位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196104
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041372
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】ウェハよりもわずかに大きなウェハ落とし込み段差がついたウェハステージにウェハを確実に短時間でセットすることできない。ウェハ表面及びエッジ部の接触により、パーティクルが発生する。【解決手段】ウェハ(2) よりわずかに大きいウェハ落とし込み段差(1a)を有したウェハステージ(1) と、ウェハ(2) を前記ウェハステージ(1) 上に載せるアーム機能と位置補正機能を兼ねたウェハ移動機構(5) と、ウェハ位置、ウェハステージ上のウェハ落とし込み位置を検出する複数のモニタ(61 〜 63 )と、これらモニタ(61 〜 63 )に電気的に接続された画像位置補正値演算装置(7) と、前記ウェハ(2) を上下させるプッシャ上下機構(3) を具備することを特徴とするウェハ位置決め装置。

請求項（抜粋）：

ウェハよりわずかに大きいウェハ落とし込み段差を有したウェハステージと、ウェハを前記ウェハステージ上に載せるアーム機能と位置補正機能を兼ねたウェハ移動機構と、ウェハ位置、ウェハステージ上のウェハ落とし込み位置を検出する複数のモニタと、これらモニタに電気的に接続された画像位置補正値演算装置と、前記ウェハを上下させるプッシャ上下機構を具備することを特徴とするウェハ位置決め装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ウエハステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003577 出願人：三菱電機株式会社

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