電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置、並びに電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-097257
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303644
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】良好な有機EL素子を形成するために、より高精度に層間絶縁膜(平坦化絶縁膜)の平坦化が可能になる電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置、並びに電子機器を提供する。【解決手段】基板20と発光層60との間に平坦化絶縁膜284を備えた電気光学装置の製造方法であって、平坦化絶縁膜284を形成する工程は研磨工程を具備していることを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板と発光層との間に平坦化絶縁膜を備えた電気光学装置の製造方法であって、前記平坦化絶縁膜を形成する工程は研磨工程を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造方法。

IPC (5件)：

H05B33/10 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22

FI (5件)：

H05B33/10 , H05B33/02 , H05B33/12 B , H05B33/14 A , H05B33/22 Z

Fターム (6件)：

3K007AB11 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007DB03 , 3K007FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

発光装置およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-038071 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-283280 出願人：松下電器産業株式会社
発光装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-206751 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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