特許
J-GLOBAL ID：200903023449314471
アクティブマトリクス基板の検査方法、検査装置及び欠陥修正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315417
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082836
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】欠陥モードの検出、並びに検出した欠陥部を修正できるようにする。【構成】検査装置の対向基板を、被検査用基板に対向配設すると共に、検査装置の接続用端子をゲートバスライン1、ソースバスライン2及び検査装置の対向電極のそれぞれに接続した状態となし、ライン1に1フレーム期間を定めるオン信号と後続のオフ信号とを交互に与える。加えて、相前後する2フレーム各々のオン信号付与前にライン2に与える電圧レベルを変更する第1パターンと、オン信号付与の前後にライン2に与える電圧レベルを変更する第2パターンと、オン信号付与後にライン2に与える電圧レベルを変更する第3パターンとを全て行う。これにより欠陥部のある表示部分が暗くなり欠陥モードが検出され、また、修正されることとなる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に複数の絵素電極と各絵素電極を駆動するための薄膜トランジスタとがマトリクス状に配置され、該薄膜トランジスタと各々接続し、かつ相互に交差して形成された走査線及び信号線に、該薄膜トランジスタを介して各絵素電極が接続されていると共に、該絵素電極に関連して形成された補助容量が、該絵素電極が接続されている走査線とは絵素電極を挟んで近接する別の走査線に接続されたアクティブマトリクス基板の検査方法において、該アクティブマトリクス基板に対向配設させる対向電極を有する対向基板と、該対向基板の対向電極側に形成され、アクティブマトリクス基板側に配される液晶層と、走査線、信号線及び該対向電極にそれぞれ接続するための接続用端子とを備える検査装置を使用し、該アクティブマトリクス基板に対して該検査装置を対向配設すると共に、該接続用端子を走査線、信号線及び該対向電極のそれぞれに接続する工程と、該アクティブマトリクス基板の走査線に1フレームの期間を定めるオン信号と該オン信号に後続するオフ信号とを交互に与えると共に、相前後する2つのフレームそれぞれのオン信号付与の前に信号線に与える電圧のレベルを変更する第1のパターンと、相前後する2つのフレームそれぞれのオン信号付与の前後に信号線に与える電圧のレベルを変更する第2のパターンと、相前後する2つのフレームそれぞれのオン信号付与の後に信号線に与える電圧のレベルを変更する第3のパターンとを全て行い、又は選択的に行って欠陥モードを検出する工程と、を行うアクティブマトリクス基板の検査方法。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, G01R 31/00
, G02F 1/13 101
