特許
J-GLOBAL ID：200903023485867266

クリーンルーム

発明者：
田村 義雄

田村 義雄 について

, 
篠田 泰嘉

篠田 泰嘉 について


出願人/特許権者：
ダイキン工業株式会社

ダイキン工業株式会社 について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322902
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141274
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 吸着と再生とが同時に行え、かつガス状化学物質のほとんどすべてを除去できる浄化空気供給装置を備えたクリーンルームを提供する。【解決手段】 吸着部16でガス状化学物質を吸着し、吸着したガス状化学物質を再生部17で脱着するロータ2と、ロータ2を吸着部16と再生部17とに駆動する駆動手段4とを含む浄化空気供給装置1を備え、ガス状化学物質を含む空気を吸着部16でガス状化学物質を吸着除去し、クリーンルーム本体32へ供給する。また再生部17へは加熱された再生空気を送り、吸着されたガス状化学物質を脱着する。
請求項（抜粋）：
ガス状化学物質を含む空気を浄化して、清浄度クラスが1000以下の浄化空気を供給する浄化空気供給装置(1)を備えたクーンルームであって、前記浄化空気供給装置(1)がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持し、一部が空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部(16)であり、他部が吸着したガス状化学物質を加熱された空気によって脱着する再生部(17)であり、吸着部(16)と再生部(17)とを切換えて、吸着部(16)でガス状化学物質を吸着除去した空気をクリーンルーム本体(32)へ供給することを特徴とするクリーンルーム。
IPC (3件)：
F24F 7/06 ,  B01D 53/06 ,  B01J 20/18
FI (3件)：
F24F 7/06 C ,  B01D 53/06 A ,  B01J 20/18 B
Fターム (23件)：
3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BG03 ,  4D012CA10 ,  4D012CA11 ,  4D012CA16 ,  4D012CC02 ,  4D012CD01 ,  4D012CE01 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CH01 ,  4D012CH05 ,  4D012CK01 ,  4G066AA61B ,  4G066BA07 ,  4G066CA23 ,  4G066CA29 ,  4G066CA51 ,  4G066DA03 ,  4G066FA37 ,  4G066GA01 ,  4G066GA16
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 空気浄化装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-173176   出願人：三機工業株式会社, 株式会社神戸製鋼所
  • 基材又は基板表面の汚染防止方法と装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-127444   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原総合研究所
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-332751   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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