特許
J-GLOBAL ID:200903023486579060

基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-320523
公開番号(公開出願番号):特開2002-131359
出願日: 2000年10月20日
公開日(公表日): 2002年05月09日
要約:
【要約】【課題】 同一の回路パターンが所定ピッチ単位で複数配列された被検査基板を検査することができ、かつ、検査治具の汎用性の向上と検査領域の拡大を図ることができる簡素な構成からなる基板検査装置を提供する。【解決手段】 被検査基板11の搬送を行なうベルト式搬送機構5と、このベルト式搬送機構5によって搬送される被検査基板11を基準位置に停止させる基板停止機構6と、各回路パターンが検査位置に位置決めされるように被検査基板11の上記基準位置からの移動を制御する移動制御手段と、検査位置に設けられ、検査位置に位置決めされた被検査基板11の回路パターンに検査治具41のプローブ42を当接させて回路パターンの検査を行なう検査ユニット4U,4Dとを備えた構成とする。
請求項(抜粋):
同一の回路パターンが所定ピッチ単位で複数配列された被検査基板を、一の回路パターンが検査位置に位置決めされる所定の基準位置に搬送して検査した後、上記所定のピッチ単位で移動させて各回路パターンを上記検査位置に順次位置決めしつつ各回路パターンを検査する基板検査装置であって、上記被検査基板の搬送を行なう搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される上記被検査基板を上記基準位置に停止させる基板停止手段と、各回路パターンが上記検査位置に位置決めされるように上記被検査基板の上記基準位置からの移動を制御する移動制御手段と、上記検査位置に設けられ、当該検査位置に位置決めされた上記被検査基板の回路パターンに検査治具のプローブを当接させて回路パターンの検査を行なう検査手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (5件):
G01R 31/02 ,  G01B 11/00 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H05K 3/00
FI (5件):
G01R 31/02 ,  G01B 11/00 H ,  G01R 1/06 E ,  H05K 3/00 T ,  G01R 31/28 K
Fターム (35件):
2F065AA02 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31 ,  2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB05 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AC09 ,  2G011AE01 ,  2G011AF06 ,  2G014AA13 ,  2G014AA15 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G014AC10 ,  2G032AC03 ,  2G032AD08 ,  2G032AE01 ,  2G032AE04 ,  2G032AE10 ,  2G032AE12 ,  2G032AF01 ,  2G032AK04 ,  2G032AL04
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • プリント基板検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-333259   出願人:太洋工業株式会社
  • 基板検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-181507   出願人:ジェイエスアール株式会社

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