基板検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181507
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023646
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】被検査基板についての検査処理効率の高効率化を図ることができること。【解決手段】被検査基板10が相互連結されるパッケージキャリア連結体12を挟んで対向配置される検査ヘッド14、および、被検査基板12の配列に対応して導体板22Aiおよび絶縁板24Aiが交互に設けられる検査テーブル20が備えられるもとで、パッケージキャリア連結体12および検査テーブル20の検査ヘッド14に対する相対位置が変更されることにより、パッケージキャリア連結体12における奇数列に相当する被検査基板10、もしくは、パッケージキャリア連結体12における偶数列に相当する被検査基板10について交互に導通性もしくは絶縁性の検査が行われるもの。

請求項（抜粋）：

一対の対向する配線部にそれぞれ互いに導通状態とされる電極面を有する被検査基板に対向配置され、該被検査基板の一方の配線部の電極面が接続される端子部が該被検査基板の配列に応じた所定の間隔をもって複数列有し、供給される検査信号を該一方の配線部の電極面に選択的に送出する検査ヘッドと、前記被検査基板における他方の配線部の電極面に接続される導体部および絶縁部を該被検査基板の配列ごとに対応して有し、該被検査基板を挟んで前記検査ヘッドに対向して往復動可能に配され、該絶縁部と前記端子部とが対向する第1の位置および該導体部と該端子部とが対向する第2の位置をとる検査テーブルと、前記被検査基板の配列の前記検査ヘッドの端子部に対する相対位置を設定する位置設定手段と、前記検査ヘッドの端子部もしくは検査テーブルの導体部および絶縁部を選択的に前記被検査基板における配線部の電極面に対して接続状態もしくは非接続状態をとらせる移動駆動手段と、前記検査テーブルが第1の位置をとり、前記位置設定手段に、前記被検査基板の配列の前記検査テーブルの絶縁部に対する相対位置を設定する動作を行わせる場合、前記移動駆動手段に接続状態をとらせる動作を行わせ、前記検査テーブルが第2の位置をとり、前記位置設定手段に、前記被検査基板の配列の前記検査テーブルの導電部に対する相対位置を設定する動作を行わせる場合、前記移動駆動手段に接続状態をとらせる動作を行わせる制御部と、を具備して構成される基板検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 , G01R 31/02 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 G , G01R 31/02 , H01L 21/66 D

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開平2-010168
特開平2-190773
特開平4-102079

全件表示

前のページに戻る