電子線照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川瀬茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142873
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337700
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】粒状物の表面処理のために電子線を当てる場合、無端周回コンベヤに載せて搬送すると片側の面にしか電子線が当たらない。陰になった側は電子線を受けず未処理のまま電子線照射装置を通過してしまう。粒状物の表面の全体に電子線が当たるようにすることが目的である。【解決手段】搬送手段として水冷された振動コンベヤを用いる。

請求項（抜粋）：

被処理物を搬送する機構を収容するべき筐体と、筐体の一部に設けられ真空中において電子線を発生する電子線発生装置と、筐体と電子線発生装置の境界にあって窓箔を設けた照射窓と、筐体の内部にあって被処理物を載せて振動によって搬送する振動コンベヤと、振動コンベヤの下側に設けられる冷却機構とを含む事を特徴とする電子線照射装置。

IPC (2件)：

G21K 5/10 , G21K 5/04

FI (2件)：

G21K 5/10 C , G21K 5/04 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭57-161600
特開平1-300953
特開昭63-263075

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