特許
J-GLOBAL ID：200903023535677234
形状測定装置,形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-350378
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155472
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】形状測定対象の試料の大きさにかかわらず,高い分解能での形状測定を行うことが可能な形状測定装置,及び形状測定方法を提供すること【解決手段】所定の基準平面Cに沿って試料11に対向配置された第1の集光レンズ13,前記基準平面からの距離が各々異なる複数の出射位置から複数の測定光を前記第1の集光レンズ13に向けて出射するLEDアレイ12,前記試料11により反射された反射光を集光する第2の集光レンズ13,前記第2の集光レンズ13に集光される前記反射光の強度を検出する受光素子アレイ9の相互の位置関係を保持して光学系βとして形成し,前記光学系βと前記試料11との前記基準平面Cに略平行な方向(走査方向)に相対位置を変位させる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被測定物に測定光を照射し,その反射光に基づいて前記被測定物の形状を測定する際に用いられる形状測定装置であって,
所定の基準平面に沿って前記被測定物に対向配置された第1の集光レンズと,
前記基準平面からの距離が各々異なる複数の出射位置から複数の前記測定光を前記第1の集光レンズに向けて出射する測定光出射手段と,
前記第1の集光レンズを通過して前記被測定物に照射された前記複数の測定光の反射光を集光する第2の集光レンズと,
前記第2の集光レンズを通過して集光される前記反射光の強度を検出する光検出手段と,
前記第1の集光レンズ,前記第2の集光レンズ,前記測定光出射手段及び前記光検出手段をそれら相互の位置関係を保持して支持する光学系支持手段と,
前記光学系支持手段と前記被測定物との前記基準平面に略平行な方向における相対位置を変位させる変位手段と,
を具備してなることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA25
, 2F065AA51
, 2F065FF10
, 2F065FF31
, 2F065FF44
, 2F065FF64
, 2F065GG07
, 2F065GG14
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065MM02
, 2F065MM06
, 2F065PP12
, 2F065QQ23
