特許
J-GLOBAL ID：200903023551773413
研磨ヘッド及びそれを用いた研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140286
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333711
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【目的】簡単な構造で製作し易く、ウエハの吸着及び離脱が容易にでき、確実にウエハを搬送し、良好な研磨を行うことが可能な研磨ヘッド、特に、研磨部材が硬質な場合においても研磨の均一性を確保することが可能な研磨ヘッド及びそれを用いた研磨装置を提供する。【解決手段】内部に段付き構造を有するハウジング(ハウジング内部に別部材により段付き構造が形成されている場合も含む)と、該ハウジングの周辺に固定されたリテーナリングと、該リテーナリングにより保持された弾性体膜と、前記ハウジングと前記リテーナリングと前記弾性体膜とにより形成される密閉空間に空気を導入し、或いは密閉空間から空気を吸引する機構と、を備えたことを特徴とする研磨ヘッド。
請求項（抜粋）：
内部に段付き構造を有するハウジング(ハウジング内部に別部材により段付き構造が形成されている場合も含む)と、該ハウジングの周辺に固定されたリテーナリングと、該リテーナリングにより保持された弾性体膜と、前記ハウジングと前記リテーナリングと前記弾性体膜とにより形成される密閉空間に空気を導入し、或いは密閉空間から空気を吸引する機構と、を備えたことを特徴とする研磨ヘッド。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 622 G
