特許
J-GLOBAL ID：200903023578200482
準無限な熱源/熱シンク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265722
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176601
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 隣合う2つの対象物間の空隙内のガスの熱伝導率を変化させることで、精密なペデストラルの温度制御を可能にする。【構成】 隣合う2つの対象物の間に狭い間隙を設け、間隙内に熱伝達流体としてガスを介在させる。2つの対象物間のガス圧力を制御することにより、ガスの熱伝導率が制御される。2つの対象物間の温度を等しくするためには、圧力を増加させる。一方の対象物の温度が高く、他方の対象物を一定温度に維持したい場合には、ガス圧力は真空に近い程に減圧され、断熱材として作用させる。ウエハ処理中に、ペデストラルのような対象物の温度を厳密に制御するために、局部的な熱シンクに局部的な温度制御が適用される。
請求項（抜粋）：
第1の熱伝達表面を有する第1の対象物から、調整可能に熱を加え或は除去するための装置において、前記表面の実質的な部分間に狭い空隙を画成するように、前記第1の表面の近傍に配置され、第2の熱伝達表面を有し、且つ熱を蓄える能力を有する第2の対象物と、該空隙内にガスを閉じ込める前記空隙の回りの気密シールと、前記空隙と連通し、前記空隙内で制御信号に応答して上記ガスの圧力を制御する圧力制御装置と、前記対象物の温度を感知し、且つ前記対象物の上記温度の関数である前記制御信号を前記圧力制御装置に供給する温度センサとを有する装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/3065
